立式单双开门镀膜机

★该立式真空镀膜设备可分为单门或双门蒸发镀膜机、单门或双门磁控镀膜机、单门或双门磁控蒸发组合AF镀膜机，蒸发镀膜机可蒸发镀铝丝和铝片。磁控镀膜机可镀的工艺膜系有：金膜、银膜、铝膜、钛金膜、不锈钢膜等单质膜和氧化膜、复合膜、增透膜、增亮膜、光学膜、ITO导电膜、EMI屏蔽膜等等。设备能生产的产品有银镜、铝镜、彩色玻璃、工艺玻璃、光伏玻璃、光电玻璃、ITO导电玻璃、非导玻璃等，以及PC、PVC、PET等材料表面镀AR、AF、ITO、非导等膜和金属单质膜等工艺。设备主要应用在手机镜片和手机后盖镀膜、电子、电器、军工、家电、五金、玩具、汽车、建筑、建材、灯饰、装饰等众多行业领域。本设备的优点：抽速快及稳定、产量高、转动结构运行平稳不卡顿。高真空部分可根据客户实际需要全选择油扩散泵或分子泵，或两者搭配使用；设计有防返油机构，减少对产品的污染；使用国内或国外知名品牌真空泵机组，加上人性化结构设计理念和智能控制及显示系统，如能增加使用深冷系统，会加快抽速时间及产量，使设备尽善尽美。

★工艺气体：氩气、氧气、氮气等，具体看生产的产品而定。

★靶材材质：金、银、铜、铝、钛、锆、硅、镍、铬、锡、铟、铌、不锈钢等或锡铟、硅铝、镍铬等合金、铝丝、铝片。

★磁控溅射电源：直流电源、中频电源、离子轰击电源、离子源电源（按客户需要而定）、蒸发器。

★该立式磁控蒸发镀膜设备的结构：

可分为单开门或双开门结构，

前级有精抽真空泵机组、粗抽真空泵机组、粗抽阀、前置阀、高真空阀、磁控溅射蒸发室（单室时转动工件架装在固定门里；如是双开门时转动工件架装在两个活动门里）-----有磁控溅射阴极靶或蒸发器或者磁控溅射阴极靶和蒸发器组合，气体系统和离子轰击等。

★该立式磁控蒸发镀膜设备的工作流程：

在工件架上挂上或贴上基片-----如有蒸发需装上铝丝或药丸子-----关上大门，开真空泵进行抽真空----如果有轰击（有时需要充入氩气）开轰击开转动-----轰击结束后继续抽真空直至真空度5×10-2Pa左右或更高，开蒸发器进行蒸发同时开工件架转动（如果是磁控镀膜的话，充工作气体开磁控靶同时工件架转动），-----镀膜结束后，关闭所有阀门，打开真空室放气阀放气，打开大门取下工件。重新挂上新的工件（如此循环工作）。