真空镀膜机的工作原理和结构

介绍了真空镀膜机的工作原理和结构。真空镀膜机是真空制造中应用最广泛的设备。其组成及部件：机械泵、增压泵、油分散泵、凝结水泵、真空测量系统

真空镀膜机的原理真空镀膜机主要是指一种需要在高真空下进行的镀膜，包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积等多种。其主要思想分为蒸发和溅射。

真空镀膜机部件

1、 真空的主体是真空室。根据加工品的不同要求，真腔的大小也不同。目前最常用的是直径1.3m、0.9m、1.5m和1.8m。箱体采用不锈钢材料，要求不生锈、坚固。真空室的每个部分都有一个连接阀，用于连接泵。

2、 排气系统由“分散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+聚合物”组成。排气流程如下：机械泵首先将真空室抽至小于2.0*10-2Pa的低真空状态，这是分散泵随后抽真空的供给条件。分散泵抽真空室时，机械泵与油分散泵串联，这样抽真空。

排气系统是涂布机真空系统的重要组成部分，主要由机械泵、增压泵（主要介绍罗茨泵）和油分散泵组成。

机械泵：又称前置泵，机械泵是应用最为广泛的低真空泵，它是利用油的附着密封作用，依靠机械的方法不断改变泵内吸入腔的容积，使泵内气体的容积不断膨胀，进而获得真空。

机械泵有很多种，常用的有滑阀式（这主要用于大型设备）、活塞往复式、固定板式和旋转板式（这是目前应用最广泛的，本文主要介绍）四种类型。

机械泵常用于去除干燥空气，但不能去除高含氧量、爆炸性和腐蚀性气体。机械泵通常用于去除持续性气体，但对水蒸气的去除效果不好，不能去除水蒸气。旋叶泵最有效的部件是定子、转子、弹片等，转子在定子内部，但与定子不同。主轴像两个内接圆。转子槽内装有两片弹片，两片弹片中心装有拉簧，保证弹片与定子内壁紧密贴合。

真空镀膜机的原理及组成分析真空镀膜机是真空条件下应用最广泛的真空设备。一般由真空室、真空单元和电气控制柜组成。排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+保冷器”组成。我们公司是一家专业从事研发的公司；研发生产真空镀膜设备，拥有经验丰富的技术团队和高素质的售后服务团队，解决设备使用中遇到的任何问题。其次，详细介绍了真空镀膜机的组成和工作原理。

1、 真空镀膜机真空腔的真空体根据加工产品的要求不同，真实腔的尺寸也不同。目前应用最广泛的是直径1.3m、0.9m、1.5m和1.8m。型腔采用不锈钢，要求不生锈，坚固。真空腔的每个部分都有一个连接阀，用于连接泵。

2、 辅助抽气系统：排气系统是真空镀膜机真空系统的重要组成部分，主要由机械泵、增压泵（主要介绍罗茨泵）和油扩散泵组成。排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+聚晶”组成。排气过程如下：机械泵首先将真空室抽至小于2.0*10-2Pa的低真空状态，为扩散泵的后续抽真空提供前提。然后，扩散泵抽真空室时，机械泵与油扩散泵串联，从而完成抽真空动作。

机械泵：又称前置泵，是机械泵中应用最广泛的低真空泵。它用机油来保养