真空镀膜机扩散泵如何维修和保养

2021-06-11 16:50:56

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真空镀膜机扩散泵的维护方法；

扩散泵是一种高真空获取设备，极限为-5pa级泵，抽气速度大，效率高，能忙速抽气，一般用于真空镀高，抽气速度要求高的设备，是真空镀膜机的重要组成部分，真空镀膜机采用扩散泵抽真空，大多数是大型设备，因此，大多数商家都十分重视真空镀膜机扩散泵的维修保养，下面汇成真空小编为您详细介绍扩散泵的维修保养：

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一是扩散泵工作时冷却水必须保证畅通，停止加热后必须保证泵工作液完全冷却后才能关闭。

二是扩散泵停止工作时，泵内应保持真空状态，以免油品劣化。

三是被抽气体应为干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。

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第四，如果扩散泵暂时不使用，保管期间应保持真空状态，以免泵油污染和各部件腐蚀，并将冷却水中的剩余水吹走。现场室温应在10-40摄氏度之间。

第五，扩散泵长期工作后性能会逐渐变差，应定期检查。例如，泵油是否减少或氧化，应按相应要求加油或更换；零件和泵腔应先用航空汽油清洗，然后用丙酮擦洗，并在80-100摄氏度的温度下干燥或用吹风机吹干。处理后，按顺序组装，保持泵芯与泵底垂直于泵腔，各级喷嘴间隙应按原要求调整。

第六:水分挥发干燥后，安装泵芯，加入新的扩散泵油，装回机体，连接水管，安装电炉盘，重新启动。

第七:重新打开真空镀膜机前，注意泄漏检测。方法是启动维护泵，关闭门，几分钟后观察真空度，检查连接处是否有密封圈泄漏或压坏密封圈。排除漏气隐患后再加热，否则扩散泵油会烧坏，无法进入工作状态。