光学镀膜机维护与保养

光电镀膜机主要由真空镀膜机室、真空抽气机组限制和电柜(控制电柜、电子枪电枢)组成，广泛应用于微电子、光电成膜、民用装饰、表面工程等领域。

光镀设备在防止油污染、缩短工作周期等方面具有优异的性能。

光镀设备的工作原理是在高真空状态下，用电子束将金属或非金属材料加热到合适的温度，材料加热后蒸发成蒸汽分子。其平均自由程大于蒸发源与蒸发基之间的距离，蒸发后的蒸汽分子直接照射到各个地方，接触基片后沉积在基片表面形成腊层。

光学镀膜机的维护主要包括更换电子枪的安装和维护、光路的维护、设备的清洁和维护。

1.电子枪的安装和维护。

电子枪支蒸发源控制系统由电子枪支灯丝电源、高压电源、扫描电源、坩埚驱动电源、蒸发源等组成。

电子枪控制电气中心含有高压，工作前必须保证柜门各联锁装置正常工作，非专家不得打开电气中心门，电子枪工作时不得打开电气中心门，整个电气中心必须接地良好，与机台接地。

安装在真空室底板上的电子枪蒸发源，必须与底板有良好的接地效果，安装蒸发源必须用不锈钢螺钉固定，周围200mm以内不得有导磁物，否则会影响电子枪的光斑成表，造成电子性能差。电子枪档板应尽量安装在蒸发源坩埚中心30mm处，以免影响电子枪的发射。

电子枪的蒸发源是精密的机械加工体，工作时必须保证良好的冷却水。温度过高会影响电子束的成形和各密封圈的性能。

㈠电子枪头。

电子枪头的安装直接影响工作的正常进行，90%的故障与电子枪头有关。

电子枪头使用一段时间后，会因组件污染而影响电子束的成型和功率，需要拆卸清洗。

㈡坩埚的维修。

拆除坩埚前，请关闭水路，用压缩空气将电子枪冷却管内的水吹干。

蒸发源装卸顺序:

1.拆下两个冷却水连接管。2.拧出电子枪头，连接高压线和两个螺钉。3.拆下坩埚传动连接座和联轴器。4.拧下蒸发源的四个固定螺钉。5.将蒸发源搬到稳定平整的工作台。6.拆下坩埚盖板的四个螺钉，取下盖板，打磨干净。7.检查盖板上的两个密封圈是否需要更换。8.将蒸发源反转倒置，用木板垫住坩埚部分。9.拧下固定坩埚转动四个螺钉10。提起蒸发源，取下坩埚11。将坩埚倒置，拧下坩埚底盖的八个螺钉，清理里面的污垢，检查是否需要接近密封圈。12.拧下导水管的一个螺钉13。拧下坩埚转动机构与坩埚盖板连接的四个螺钉14。拨出坩埚转动轴，检查转动轴的油封是否需要更换。安装应按上述倒置顺序进行。

㈢维修导磁板和扫描圈。

导磁板和永磁铁不需要经常拆卸和维护。如果需要拆卸，请注意永磁铁的极向和导磁板的方向。由于线圈安装空间密集，请不要用硬尖撬动，否则可能会损坏。

光路的维修与保养。

光路调节的前提是确保DC稳定电源、调制光源、光纤、光栅单色仪、光电转换放大器、光学膜厚仪和各种专用电缆的完好正确接入。特别是光电转换放大器和光学膜厚测量仪的接地点必须分别归类为主机接地点。