真空镀膜机成膜不均匀的因素

真空镀膜机成膜不均的因素。

真空镀膜机是制造三维分散零件多室连续镀膜机的主要难点。目前，传输机构主要是在传统的、广泛应用于板带表面涂层和无工件自转机构的基础上开发的链式隧道传输机构。

链式隧道连续输送机构，是在传统板带表面镀膜机中的输送机构的基础上发展起来的，对真空镀膜设备制造企业而言，生产并无困难，市场上已有的立体分散件连续镀膜机都采用了这种型号，国内有几家企业为此还申请了zhuanli。对于链式隧道式输送机构的结构设计图，其输送过程是，公转盘A带动柔性金属材料钢带B公转，自转轴的轴套D焊接在柔性钢带上，用机械机构固定在公转盘上，同时用带内齿的固定盘F齿合自转轴C上的齿轮E，以确保其自转。柔性金属材料钢带B在G处可以自由断开，并做直线运动，从内齿固定盘F的H开口进入下一个真空镀膜室的工件架。

链式隧道传动机构的缺点是，1、真空室之间的连接阀需要较大的尺寸，这样，不同真空室之间的气氛就容易互串，从而降低镀膜质量、成品率等；2、需要较高的设计精度、加工水平，由于是柔性结构，容易出现配对不准确，造成传动故障。真空镀膜机往复步进齿条推杆式传送机的传送过程是，固定在镀膜室顶部或底盘上(与公转盘同一侧)，并能往复运动的齿轮G、齿条H-推杆机构，顺序实现自转工件杆Am从真空室M的公转盘Jm传送到真空室N的公转盘Jn。使用的动力是通过轴密封在真空室外的真空室外的马达实现的。为了使自转工件杆脱离公转盘进入下一个公转盘，在公转盘与自转轴之间采用开式连接，同时固定在镀膜室内，并保持自转内齿轮盘相应位置开口，实现自转工件由镀膜室M传送到下一个公转工件。

与链式输送机构相比，该机构为刚性输送，在没有齿合不正确的问题的同时，必要的过渡空间小，可以节约真空室间阀门的开关时间，进一步减少不同真空室间的气氛。因此，大幅度提高了镀膜技术的稳定性、成品率、能源消耗和成本等。

真空镀膜机成膜不均匀。

伴随着镀膜技术的发展，各种真空镀膜机也逐渐出现，无论哪种真空镀膜机，薄膜的均匀性都会受到一些因素的影响。本文从磁溅射式真空镀膜机对成膜不均匀性进行了分析。

涂层机抽气不均会影响涂层的均匀性。清洁基层非常重要。真空涂层前，应仔细清洁基层表面，以达到工件去油、去污和脱水的目的。基层表面污染从零件处理和运输过程中附着的各种灰尘、油脂、抛光膏、汗渍等。在潮湿的环境中，基层表面容易氧化，形成氧化膜吸附气体。对于这些污垢，可以通过去油或化学方法清洗。不要直接把干净的基层放在外面，要用封闭的容器存放，减少污垢。涂层室也会积灰，所以要清洗涂层室，烘烤除气，把机器放在干净的环境中。注意扩散泵返油。涂层的原材料很多，如树脂、硅酮、硅盐酸、聚合物等。辅料和配方的比例不同，薄膜也不同。

上述是真空镀膜机成膜不均匀的原因。