蒸发真空镀膜机技术要求

蒸发真空镀膜机技术要求

构造要求

1.设备结构布局合理，外形美观，操作方便，维护方便。

2.设备中静动密封的结构形式和尺寸应符合GB/T6070和JB/T1090~1092的要求。

3.在低真空、高真空管道和涂层室安装真空管道，分别测量各部分的压力。

4.如果设备的真空单元以扩散泵为主泵，则应在扩散泵的进气口安装挡板或冷阱。

5.涂层室应有观察窗。对于涂层过程中发生辐射的设备，观察窗应安装防辐射镜片。

6.带工件烘烤装置的设备应有温度测量电极或温度测量装置。

7.工件架旋转机构的转速应符合产品设计要求。

8.配有离子轰击装置或宽束低能离子源装置的设备应能在产品设计要求的参数范围内正常连续稳定工作30分钟以上。

9.钨丝作为蒸发热源的加热器应能使蒸镀材料正常蒸发，蒸发过程中加热器的几何形状不应影响正常蒸发。

10.设备蒸发源的工作条件应稳定，易于调节和控制。各种蒸发源(如电阻蒸发源、电子束蒸发源、离子束蒸发源、激光蒸发源、感应蒸发源等。)的技术要求应符合相应的产品标准。

设备采用低电压、大电流电阻蒸发源时，各蒸发源加热器应处于4V~20V电压、50A~180A电流状态。

生产要求

1.设备零件的机械加工质量和焊接零件的质量和组装质量应符合制造商的技术文件要求。

2.设备镀膜室内表面及各密封面的粗糙度Ra值不得大于1.6um，并对工作时处于真空状态的各个表面进行有效的真空清洗处理，并进行干燥。各旋转部件、升降机构等动作应灵活，不得有卡、滞、松、抖、异响等现象，需要使用润滑脂的动密封部位应适量真空油。

3.设备主要部件的材料应符合相应的材料标准。

4.配套设备的电气设备质量应符合制造商的技术文件要求，设备运行安全可靠。

5.设备的外观质量应无非功能性要求的尖角、棱角、凸起和粗糙不平整的表面。零件结合面边缘应整齐均匀，无明显偏差。金属零件的涂层应牢固，无脱落、生锈等现象，所有固体零件应有防锈层。设备的涂装表面应光滑、美观、牢固、无脱落、剥落。

6.设备中外购买的配套产品应符合相应的产品标准，并有质量证书。设备中自制的配套产品只能在制造商检验部门检验合格后使用。

7.设备中的各种蒸发源、辅助离子源和离子轰击、工件旋转、工件烘烤、工件偏压、薄膜厚度监测等设备。应逐一调试和联合调试，其性能应符合设计要求，运行可靠。当工件加热到额定温度时，真空室外表面温度不应高于45度，设备运动部件应正常工作。