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真空镀膜设备厂家设备的控制装置是什么呢?

2021-03-10 16:15:19

真空镀膜设备厂家的就像真空系统的引入一样,是指在真空环境下工作,完成镀膜过程的真空镀膜设备。由于目前国内真空应用范围比较小,所以真空设备的名称很多。真空镀膜技术在我国科教实验和工业生产中发挥着重要作用。其控制系统一般根据一定的要求控制真空镀膜设备中真空泵的启动和停止及其真空阀的开启和关闭,或者根据预设值数据改变真空镀膜设备中真空室的压力。这样的真空室压力调节动作过程和操作管理过程就是真空镀膜控制装置。系统控制的主体可以是人,也可以是代替人的自动控制系统。

起初,真空镀膜设备采用手动控制系统,但随着人类科学水平的不断提高,手动控制逐渐发展成为自动控制系统。之所以称之为自动控制系统,是因为它是一种模拟人工操作的控制系统,可以调动镀膜设备按照预定的程序自动运行,无需直接操作设备,保持真空镀膜处理时的稳定性,进一步提高镀膜效率和镀膜质量,减少事故,减轻劳动强度。

对于真空工程和一些大型真空设备控制系统,除了上述预设程序自动运行和真空室压力自动调节外,我们还要求真空工艺生产流程自动切换、信息采集、处理、显示和控制工作电流、束流、电压、温度、膜厚和张力。这种大型真空设备或工程不仅增加了一个待测参数。由于这些参数中有一些波动很快,允许的波动范围很小,在这种情况下,如果不使用自动管理和控制系统,真空设备将难以有效运行,真空过程将无法及时完成。

因此,特别重视真空镀膜设备的自动控制系统,以提高真空镀膜设备的自动化水平。自20世纪80年代以来,计算机程序控制被广泛应用于真空镀膜控制设备中,提高了真空镀膜设备的自动化水平。近年来,计算机集成控制系统的发展又向前迈进了一步,为真空镀膜自动化奠定了基础。

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