真空设备应用广泛,如何处理各种复杂问题?
如今,真空设备的应用领域越来越广泛,其中许多与电力,电磁,水,气源和制冷有关。真空炉或镀膜设备都会遇到电气问题。很少有一些情况不是电源部分的问题,这很难理解。其中一些是由于机械组装时的粗心造成的,而某些是绝缘材料或结构的问题。这时,不要急于下结论,不要急于拆卸设备,您应仔细分析故障现象或咨询专门从事此工作的人员。避免意外拆卸和拆卸造成不必要的损失。有一种特殊的设备在工作时会放电。在分析工作记录并与操作员沟通之后,可以得出不同的结论。有人认为电源有问题,有人认为这是组装过程中的问题。之后,拆卸设备,重新组装后消除放电现象。有一个磁控溅射镀膜机,产品的下半部明显好于上半部,靶的外观没有问题,磁环的上半部用高斯计消磁。检查后,发现水路有问题。调整水路,更换磁环,解决了产品上下的一致性问题。
在设备的加工阶段,必须遵循加工技术(尤其是焊接技术),以及时发现半成品的泄漏。对于制造后无法触摸,泄漏测试或维修的零件,必须严格测试焊接质量是否有泄漏,不合格的零件应及时重新焊接,维修和泄漏测试,然后可以进行下一个过程符合要求后。特别是对于大型容器的装配焊接和加工,中间过程中的泄漏检测非常重要。如有必要,应设计和制造专用的检漏工具(例如检漏盒,盲板等)。对于带有双壁水冷套的真空腔体,先焊接内腔壁并检查是否泄漏,确认没有泄漏,然后再焊接外腔壁。同样,在腔室壁的外侧存在难以拆卸的绝缘层的情况下,需要在覆盖外部结构之前对腔室壁进行严格的泄漏检测。