随着现代制造业的快速发展,我们身边的许多产品都在不知不觉中被应用到涂装技术中。真空磁控溅射镀膜是其中一个。举一个简单的例子,利用真空磁控溅射镀膜技术对车窗和家庭窗户的玻璃进行镀膜,以满足其他普通玻璃所不具备的降温和减辐射效果。
真空磁控溅射镀膜特别适用于反应沉积镀膜。事实上,这个过程可以沉积任何氧化物、碳化物和氮化物材料的薄膜。此外,该工艺特别适用于多层膜结构的沉积,包括光学设计、彩色薄膜、耐磨涂层、纳米叠层、超晶格涂层、绝缘薄膜等。早在1970年,就有了高质量的光学薄膜沉积案例,并开发了多种光学薄膜材料。这些材料包括透明导电材料、半导体、聚合物、氧化物、碳化物、氮化物等。氟化物主要用于蒸发涂层和其他工艺。
可根据不同设备配置不同角度的安装头;安装采用20不锈钢导管和复合法兰,适用于高真空和高纯度涂层。此外,还可以根据客户需求设计其他特殊属性。圆形磁控溅射靶的应用领域直径50150mm靶主要用于高校和科研院所的研究型磁控溅射镀膜设备;直径150mm以上的靶材是一种生产型磁控溅射镀膜设备,它利用磁控溅射镀膜,用几十电子伏或更高动能的高能粒子轰击材料表面,使其原子获得足够的能量,溅出进入气相。这种飞溅和复杂的粒子散射过程称为溅射。溅射镀膜是在真空室中进行的,用高能粒子轰击材料表面,使其原子获得足够的能量。