真空镀膜技术是一种新型的材料合成和加工技术,是表面工程技术领域的重要组成部分。随着全球制造业的快速发展,真空镀膜技术的应用越来越广泛。从半导体集成电路、led、显示器、触摸屏、太阳能光伏、化工、制药等行业的发展来看,都存在对真空镀膜设备、技术、材料的需求。其中包括用于TFT和PDP平板显示器上的导电膜和防反射膜,用于建筑和汽车工业的玻璃涂料和装饰膜,用于装饰材料上具有各种功能装饰效果的功能膜,以及用于纳米材料研究的各种功能膜等。
真空镀膜镀过程中材料是镀和衬底被放置在一个真空室,及涂层设备使用一定方法热镀材料的蒸发或升华,和飞溅射基片的表面镀凝结成电影。它广泛应用于塑料制品。许多真空镀膜机制造商表示,塑料具有易成型、成本低、重量轻、不腐蚀的特点。塑料制品应用广泛,但其缺点限制了其发展。通过真空镀膜技术的应用,将塑料表面金属化,有机材料与无机材料结合,使其物理化学性能得到了极大的提高。
对于镀膜设备来说,本底真空和放气率是与质量有关的两个重要概念。背景真空直观且易于测量。由于历史原因,用户已经习惯将其等同于真空质量。实际上,背景真空反映的是外观,而真空室的放气率是真空质量的本质。