真空器由于在镀膜过程中,工件处于封闭的真空环境中,导致产品工艺和性能损失很大,现有的真空镀膜设备虽然也有冷却装置,但冷却效果并不理想。为弥补现有技术的不足,提供真空镀膜设备手套箱蒸镀一体机,该系统由真空镀膜系统与手套箱系统集成而成,该系统可在高真空蒸镀腔内完成薄膜蒸镀,并可在手套箱高纯惰性气体气氛下进行样品的存放、制备及蒸镀后的检验。可满足镀膜产品工艺和性能要求的快速冷却系统,实现快速冷却过程自动控制。
现有的磁控溅射镀膜机、真空蒸发镀膜机、真空多弧离子镀膜机等各种类型的镀膜设备,均可在低温条件下对非金属材料进行镀膜,而真空蒸发镀膜机、真空多弧离子镀膜机均属高温镀膜设备,适用于金属材料镀膜。每一种镀膜机都有其自身特点和使用范围的限制,如需镀制多种不同的膜层以及进行金属和非金属材料镀膜,需购置多种真空镀膜机,设备投资较大等。
真空镀膜设备应用广泛吗?在当今世界,真空一词已被广泛地运用于各个领域,其目的是要保护真空,真空是最干净的,极限真空中没有任何污染物,使产品减少受杂质影响,从而减少损失,弥补正常环境中的不足与缺陷,这也是人们对真空十分看好和喜爱的原因。