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真空镀膜机主要是指需要在较高真空下进行一种镀膜，包括真空蒸发镀膜机、真空多弧离子镀膜机、真空中间频磁龙溅射镀膜机、多功能中间频磁控溅射多弧复合离子镀膜机、真空光学（电子束蒸发）镀膜机等系列真空镀膜设备。那么，在使用真空电镀机时，我们应注意什么？如何维护它？
真空镀膜机维护和安全措施如下：
1. 设备必须可靠接地，并且必须经常检查接地装置的导电效果。
2. 当扩散泵和增油泵加热时，不要接触大气，以免泵油氧化。
3. 定期检查调节水流继电器，检查断水报警是否正常，确保设备冷却供水畅通。
4. 加热前冷却水必须连接到扩散泵和增油泵，泵停止工作，但当泵未冷却到低于 80°C 时，不得切断冷却水，以防止泵芯燃烧。
5. 所有设备的冷却水在涂装工作前必须连接，以防止电极和基板燃烧。
6. 拆卸和组装设备的各个部件时，应注意保护每个密封工作表面免受机械划痕或损坏，以确保设备可靠的密封性能。
7. 设备各传动轴的真空密封采用"骨架油封"形式，骨架油封内腔充满润滑油。使用一段时间后，它将会丢失，并且必须用同样的润滑剂填充。
8. 经常检查根泵和滑动阀泵的储油情况，并定期补充。同时，按照手册的要求进行维护。
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