真空镀膜机维护和保养措施

真空镀膜机主要是指一种需要在高真空度下进行的镀膜，包括多种真空镀膜设备，包括真空蒸发镀膜机、真空多弧离子镀膜机、真空中频磁控溅射镀膜机、多功能中频磁控溅射多弧复合离子镀膜机、真空光学(电子束蒸发)镀膜机等。那么使用真空镀膜机需要注意什么呢？如何维护保养？

真空镀膜机维护和保养措施如下:

1、设备接地必须可靠，并经常检查接地装置的导电效果。

2.扩散泵和油增压泵加热时，不要与大气接触，以免泵油氧化。

3.定期检查和调整水流继电器，检查断水报警是否正常，确保设备冷却水的畅通。

4、扩散泵和油增压泵在加热前必须接通冷却水，泵停止工作，但泵未冷却到80℃以下时，不得切断冷却水，以防止泵芯烧毁。

5、涂装工作前必须连接所有设备冷却水，以防止电极和基材烧伤。

6.拆卸和组装设备部件时，应注意保护密封工作面免受机械划伤或损坏，以确保设备的密封性能可靠。

7.设备各传动轴真空密封采用“骨架油封”，骨架油封内腔填充润滑油。使用一段时间就会磨损，所以一定要加同样的润滑油。

8.定期检查罗茨泵和滑阀泵的储油能力，并定期补充。同时，按照其手册的要求进行维护。